ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS
Por
H. SCHLÜTER
Estado: DE 2ª MANO (BUENO)
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Sinopsis
This book draws together three areas of work on plasma technologies: advanced efforts based on wave generated, high frequency plasmas, plasma assisted ion implantation, and electron beam generated plasma. It lays a foundation for the application of sources in industry and various research areas
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